"高性价比显微投影光刻系统:高精度制造的新途径"
光信号的集成分发、处理和感知网络需要基本光元件如波导、分频器、光栅和光开关的微型化。为此,必需具备能进行高分辨率制造的制作手段。曲线元件如弯曲和环形谐振器的制造尤为具有挑战性,因为他们需要更高的分辨率和较低的侧壁粗糙度。除此之外,精确控制绝对结构尺寸的制造技术也是必需的。 至今已经有一些用于亚 ...
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