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国内有芯片光刻机厂家吗

2022-01-08 229 未知

有！国产光刻机的开发只有一家，那就是上海微电子装备公司。但微电子目前生产出来的光刻机还比较落后，2021年计划交付的首台国产光刻机还是28纳米的，这与荷兰ASML还有着相当大的差距，就目前来讲，技术相差十年二十年都不为过。

之所以差距这么大，实在是EUV的制度难度太高，EUV每台光刻机的装配大约需要50000个零件左右，而其精确复杂难度借用微电子贺荣明的话来讲，相当于两架大飞机从起飞到降落，始终齐头并进，一架飞机上伸出一把刀，在另一架飞机的米粒上刻字，不能刻坏了。

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